ルームヒーター
夜間の空気が冷え込むと、私たちはすぐに温かさを求めます。迅速で、均一で、安定した暖かさが必要です。性能が悪く、エネルギーを多く消費する、または騒音を発するルームヒーターでは、快適さが損なわれ、電気代も高くなってしまいます。私たちが作ったルームヒーターは、信頼性の高い暖かさを提供しつつ、通常の高額な...
ハロゲンヒーターランプ
夜が訪れ、リビングルームがシンプルで温かみのある雰囲気に包まれるとき、その雰囲気を壊すようなヒーターは望ましいあり方ではありません。そこで、私たちはコンパクトなハロゲン電球をベースにした赤外線ヒーターを開発しました。このヒーターは、速やかに暖かさを放ち、静かに動作し、邪魔にならないように設計されて...
ブルートゥース式電気ヒーター
雨の多い夜には、空気が冷えるとすぐに動作を停止するようなヒーターは不要です。赤外線による暖房は素早く効果を発揮しますが、その効果を持続させるためには、内部の配線が繰り返しの加熱に耐えられる必要があります。だからこそ、密封された配線設計が重要なのです。
多くの一般消費者向けヒーターでは、電源コードの...
アイクストロン・ヒーター素子の交換用部品
床に設置されているAixtronのMOCVDチャンバーでは、エピタキシャル成長を所定の条件で維持するために、正確な温度制御が不可欠です。ヒーター要素の性能が低下すると、再現性が悪くなります。設定値が変動したり、ウェーハの温度が均一でなくなったり、欠陥の数が増えてしまいます。このような問題を解決する...
高齢者用部屋用ヒーター
冬が来ると、まず手や足にその寒さを感じます。高齢者にとって、その厳しい寒さは単なる不快感以上のものであり、血液の流れを改善する必要があることを日々思い出させるものです。高齢者用の部屋に設置された赤外線ヒーターは、全く異なるタイプの温かさを提供します。これは空気の温度を上げるのではなく、人自身を温め...
タッチスクリーンヒーター
ヨーロッパの2,000軒の家庭で実際に使用してみた結果、共通してわかったことがあります。それは、人々はすぐに暖かくなり、安定した温度を保ち、日常生活の妨げにならない暖房器具を求めているということです。もし暖房器具の効きが悪ければ、部屋全体の雰囲気が悪くなります。温まるのに時間がかかったり、風が強す...
無鉛はんだウェーハ予熱器
ライン上では、熱ドリフトは警告灯として現れることはありません。代わりに、ロット報告書上で歩留まりの低下として表れます。
ウェーハの乾燥処理、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、パッケージング時の硬化処理、清掃時の乾燥処理——これらすべては、厳格な温度管理の下で行われます。無鉛はんだを使用す...
キヤノンのリソグラフィー用ヒーターバルブ
リソグラフィーの工程において、ベイク温度が0.5℃だけ変動しても、それは「わずかな偏差」とは言えません。これは製品の歩留まりに悪影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクによって、線幅の制御やスカムマージン、残留する溶剤量が決定されます。ヒーターバルブの性能が低下し始めると、すぐに問題が現れます。...
洗浄後ウェーハ赤外線ヒーター
ファブの現場では、水洗い後に傷が残ったウェーハや、適切に加熱処理されていないフォトレジスト層、または均一に硬化していない封止剤といった問題があると、単に処理時間だけが損なわれるだけでなく、ウェーハ自体も破損してしまいます。そのため、赤外線加熱装置は予測可能でなければならず、厳格な温度制御が求められ...
Wi Fi対応の電気ヒーター
シニア向けの足のスパルームでは、単に暖かくするだけでなく、足を快適にするための適切な温度の熱が必要です。血流が悪くなると、冷たい足やこわばりが原因で、単純な足湯も長時間待つような苦痛なものになってしまいます。赤外線を利用したWiFi制御の電気ヒーターなら、部屋全体を暑くしないまま、必要な場所にだけ...
電気式パイプヒーター
寒波が襲ってくると、重要なのはどれだけ早く温度差を埋められるかということです。ドアが開く瞬間からその寒さを感じます。ですから、長い時間をかけて暖まるのではなく、すぐに暖かさが得られる必要があります。だからこそ、真の赤外線出力を持つ電気式パイプヒーターが最適なのです。スイッチを入れるとすぐに放射熱が...
ウェーハ硬化ランプ用リフレクター
ウェーハ製造工程においては、わずか0.2℃の温度変動であっても、フォトレジストの特性が規格から外れてしまいます。そして、ウェーハ硬化用ランプに使われている反射板というのは、単なる部品ではありません。それは、各チップに与えられる熱量を積極的に調整する役割を果たします。均一性が保てないと、露光のムラや...
超高純度水用加熱ランプ
300mmラインでは、フォトレジストの焼成中に15分間だけでも温度が変動すれば、そのロット全体がダメになってしまいます。だからこそ、私たちはリソグラフィーベイ用に超純水を加熱するための特殊なランプを開発したのです。ここでは、温度の均一性や稼働時間が非常に重要であり、それらが製品の歩留まりを決定しま...
小型室内暖房機
10年前、私たちは他のブランドのためにヒーティングコアを開発するという、裏方の仕事をしていました。各石英管や炭素繊維製の要素は、厳しいテストを通過しなければなりませんでしたが、その功績は私たちには認められませんでした。今日、私たちはその同じ姿勢を、安定した快適さを提供する小型の赤外線ヒーターにも取...
深紫外線 DUV レジスト焼成ランプ
リソグラフィ工程において、ソフトベイクやハードベイクというのは、単に「フォトレジストを硬化させる」という単純な工程ではありません。これらの工程は、回路の寸法精度を決定する重要な要素です。ウェーハの温度が0.3℃だけ変動しても、線幅が規格外になり、結果として全ての製品が廃棄されてしまいます。そこで、...