
停止为设备加热,转而直接为晶圆加热吧。
如果你曾经参与过生物传感器的制造工作,那么你一定知道热量控制是个难题。大多数普通的红外灯其实就像普通灯泡一样,会向各个方向散发热量。问题在于,这些热量大多无法到达加工材料上,而是会被机器的内部结构吸收。这样一来,机器的壳体就会变得很热,而且还要耗费大量电能来保持这个金属箱体的温度。这不仅效率低下,还存在安全风险。
让热量集中在需要的地方
为了解决这个问题,我们决定将红外光束集中起来。我们不再使用普通的石英管,而是使用反射器和滤波器,让红外能量以直线形式传递到目标位置。这就好比把泛光灯换成手电筒——所有的能量都集中在需要加热的晶圆上。由于热量不会在机器内部四处散射,因此机器的温度会更低,同时材料也能更快达到所需温度。
当然,也有缺点
不过,这种方法的缺点是:当光束被集中后,误差的范围就变小了。必须确保设备的定位非常精确。如果灯的位置有哪怕几毫米的偏差,那么加工材料上就会出现冷点,这显然会影响加工精度。因此,安装时必须使用稳固的支架来确保一切处于正确位置。
这对你的工厂来说意味着什么?
最棒的是,你不必再购买大型冷却风扇来避免电子设备因过热而损坏。一旦将能量集中在需要加热的地方,整个工作环境也会变得更加安全、安静。此外,你也不必再为那些毫无用处的电力消耗付钱了。