متوقف کردن فاجعه ناشی از آلودگی ویفرها
بیایید صادق باشیم: وقتی که لامپ مربوط به تولید در حالت بار بالا خراب میشود، این یک فاجعه است. مسئله فقط مربوط به زمان توقف عملکرد دستگاه نیست؛ بلکه مشکلات ناشی از آن نیز وجود دارد.
تکههای شیشه و رشتههای تنگستن، مستقیماً روی ویفرها میافتند. در یک لحظه، کل محصولات تولیدشده بیارزش میشوند، و شما مجبور به پاکسازی کامل دستگاه میشوید. این موضوع واقعاً دردسرساز است.
فراتر از یک آینه…
به همین دلیل، ما منعکنهای آلومینیومی را فقط به عنوان «منبع گرما» در نظر نمیگیریم. البته، این منعکنها تشعشعات مادون قرمز را به سمت ویفرها بازمیگردانند تا عملکرد دستگاه بهتر شود؛ اما در عین حال، آنها خط دفاعی اول شما نیز هستند.
ما از آلومینیوم با خلوص بالا و روکش آنودایزه شده استفاده میکنیم. چرا؟ چون آخرین چیزی که میخواهیم این است که خود منعکن در حین گرم شدن یا سرد شدن، پوسته بگیرد یا گازهای سمی تولید کند.
همچنین، فاصله بین لامپ و دیواره منعکن را کم میکنیم؛ این کار باعث میشود تکههای شیشه جایی برای رفتن نداشته باشند.
تعادل بین توان و ایمنی
استفاده از لامپهایی با توان حداکثری برای تولید، خوب است؛ اما این کار میتواند باعث شوک حرارتی شود. برای جلوگیری از این مشکل، از سپرهای حفاظتی استفاده میکنیم.
میتوانید آنها را مانند یک تور حفاظتی در نظر بگیرید. ما یک لوله حفاظتی از جنس کوارتز یا سافیر بین لامپ و ویفر قرار میدهیم؛ اگر لامپ خراب شود، این لوله تکههای شیشه را جذب میکند.
منعکن آلومینیومی، کل این سیستم را در کنار هم نگه میدارد و لامپ را در موقعیت مناسب نگه میدارد. این کار مانع از ایجاد نواحی گرمایی نامتقارن میشود؛ نواحی گرمایی که معمولاً باعث خرابی لامپها میشوند.
تضادها
نکته مهم این است که استفاده از لولههای حفاظتی و منعکنهای قویتر، باعث افزایش وزن دستگاه میشود. به همین دلیل، زمان رسیدن دستگاه به دمای مورد نظر، کمی طولانیتر خواهد بود. اما این هزینه کوچکی است که برای جلوگیری از فاجعه ناشی از آلودگی ویفرها باید پرداخت شود.
فقط یک نکته: باید کنترلکنندههای PID خود را تنظیم کنید تا این وزن اضافی را در نظر بگیرند. پس از تنظیم مناسب این کنترلکنندهها، دمای دستگاه در محدوده مناسب خواهد ماند.