در خط تولید، وجود نشانههایی روی ویفرها پس از شستشو با آب، یا وجود لایههای فوتورزیست که به درستی حرارت نداده شدهاند، یا استفاده از مواد پوششی که به طور یکنواخت سخت نشدهاند، میتواند باعث افزایش زمان تولید شود؛ همچنین میتواند به ویفرها آسیب برساند. به همین دلیل، سیستم گرمایش مادون قرمز باید قابل پیشبینی باشد؛ یعنی کنترل دقیق دما، بدون ایجاد ذرات اضافی یا فشار حرارتی بر روی ویفرها.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ ما سیستم گرمایش مادون قرمز را بر اساس امواج کوتاه و طراحی حرارتی مبتنی بر کوارتز ساختیم؛ تا بتوانیم یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد را حاصل کنیم. این سیستم به اندازه کافی پایدار است تا بتوان از آن برای حرارت دادن لایههای فوتورزیست استفاده کرد؛ در این روش، دقت دما برای کنترل ابعاد و ساختار ویفرها ضروری است.
کنترل چرخهای، کنترل مناسب دما را در شرایط مختلف تضمین میکند. این سیستم برای اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، اجزای تشکیلدهنده این سیستم به گونهای طراحی شدهاند که تقریباً هیچ ذرهای تولید نشود.
چرا این سیستم در تولید مؤثر است؟ یک دستگاه گرمایشی میتواند چندین مرحله را انجام دهد: خشک کردن ویفرها پس از شستشو، حرارت دادن لایههای فوتورزیست، و سخت شدن مواد پوششی. این امر باعث افزایش بازده تولید میشود؛ زیرا دما به سرعت به مقدار مورد نظر میرسد. همچنین، دقت دما باعث کاهش نقصها در محصولات تولید شده میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا انتقال انرژی با استفاده از امواج مادون قرمز کارایی بالایی دارد و جرم حرارتی نیز کم است. قابلیت اطمینان این سیستم نیز بسیار بالاست؛ زیرا این دستگاهها ۲۴/۷ کار میکنند و تغییرات دما کم است؛ بنابراین، توقفهای غیرمنتظره و نیاز به ذخیرهسازی قطعات یدکی کاهش مییابد.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ برای نصب این سیستم، باید ابعاد دستگاه را در نظر بگیرید؛ همچنین، باید اتصالات گاز و خروجیهای گاز را نیز در نظر بگیرید. همچنین، باید اطمینان حاصل کنید که اتصالات PLC نیز صحیح باشد. برای تنظیم دما، نیاز به یک آزمایش کوتاه وجود دارد.
این سیستم در اندازههای استاندارد ویفرها و بستهبندیهای تخت عملکرد بهتری دارد. اگر از سطوح منحنی یا غیراستاندارد استفاده میکنید، احتمالاً نیاز به یک دستگاه ویژه برای حفظ یکنواختی دما خواهید داشت.