Protéger vos lampes infrarouges dans les outils de nettoyage des wafers
soyons honnêtes : placer des lampes à chauffage infrarouge à l’intérieur des outils de nettoyage des wafers, c’est un peu comme jouer avec du feu. Lorsque l’on se trouve entouré de vapeurs chimiques inflammables – ou pire, explosives – une petite étincelle ou un morceau d’isolant endommagé peut transformer une journée mauvaise en véritable catastrophe.
C’est pourquoi nous ne nous contentons pas de « placer » ces lampes là-dedans. Nous les enveloppons dans un système d’étanchéité hermétique.
Éviter les étincelles
Les lampes infrarouges standard ne sont tout simplement pas conçues pour fonctionner dans un environnement rempli de produits chimiques. Pour y remédier, nous utilisons un procédé d’étanchéité en plusieurs couches, afin que les terminaux électriques restent complètement protégés de l’environnement extérieur.
Nous insérons la lampe dans un manchon en quartz de haute pureté, puis nous la scellons à l’aide de céramiques industrielles et de résines qui résistent aux produits chimiques agressifs. Cela empêche ces vapeurs corrosives de endommager les fils électriques ou de provoquer des étincelles.
La vraie magie se produit aux extrémités de la lampe. Si ces joints échouent, vous avez un problème : les vapeurs s’infiltrent, la lampe cesse de fonctionner, ou même des incendies peuvent survenir. Nous ne prenons aucun risque : nous testons chaque joint pour nous assurer qu’il peut résister aux solvants agressifs utilisés pour le nettoyage des wafers.
Le compromis lié à la chaleur
Voilà le problème : l’ajout de toutes ces couches de protection et du quartz épais crée en fait une sorte de barrière qui ralentit la transmission de la chaleur vers le wafer. Vous remarquerez probablement que le temps nécessaire pour que la lampe atteigne sa température maximale est plus long que si elle était simplement exposée. C’est un compromis nécessaire pour assurer la sécurité. Pour y remédier, nous ajustons l’intensité de la lampe afin que la température du processus reste stable, sans que l’enveloppe ne fondre.
Assurer une bonne configuration lors du montage
En ce qui concerne le câblage, il est important de se concentrer sur les points de connexion. Nous utilisons des contacts plaqués or ou nickel, car l’oxydation est un grave problème dans les zones de nettoyage à forte humidité. Cela permet de maintenir des connexions propres et d’éviter les étincelles.
Faites attention aux terminaux. Si vous voyez une quelconque décoloration, retirez immédiatement la lampe. C’est un signe que l’étanchéité est compromise, et c’est un risque que vous ne pouvez pas prendre.
Vérifiez également vos ventilateurs de refroidissement. S’ils ne répondent pas aux spécifications requises, la résine d’encapsulation peut se ramollir avec le temps, et vous reviendrez au point de départ.