Menjaga Kebersihan Wafer MEMS Semasa Proses Pengeringan
Jika anda beroperasi di bilik bersih kelas 100, anda pasti tahu betapa berbahayanya situasi ini: sedikit sahaja debu atau wap kimia yang terkumpul pun sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan.
Masalahnya adalah kebanyakan unsur pemanas sebenarnya sangat kotor. Apabila ia dipanaskan, ia cenderung untuk menghasilkan serpihan halus atau melepaskan bahan organik volatil (VOCs) ke permukaan wafer. Ini merupakan bencana yang boleh berlaku pada bila-bila masa.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu IR yang diperbuat daripada kuarsa sintetik berkualiti tinggi. Lampu jenis ini tidak akan menyebabkan masalah tersebut.
Mengapa kami menggunakan kuarsa tulen
Kami menggunakan silika yang telah dilebur kerana ia sangat tahan lama. Kaca biasa atau kuarsa murah cenderung untuk pecah apabila dipanaskan. Namun, bahan ini tidak akan pecah.
Yang terbaiknya ialah sinar IR dapat menembusi lapisan cecair pada permukaan wafer dengan mudah. Ini membolehkan kelembapan disingkirkan dengan cepat. Oleh kerana tiada apa-apa yang bersentuhan dengan permukaan wafer, anda tidak perlu risau tentang kesan calar atau kotoran pada permukaannya.
Memastikan suhu yang sesuai
Kami menggunakan sinar IR gelombang pendek. Sinar ini akan sampai ke permukaan wafer dengan cepat.
Ini sangat penting kerana jika pelarut mengambil masa yang lama untuk menguap, ia akan meninggalkan kesan air pada permukaan wafer. Kami meluangkan banyak masa untuk menyesuaikan kuasa dan voltan agar haba dapat disalurkan secara merata ke seluruh permukaan wafer. Perlu diingat: jika anda meningkatkan kuasa lampu untuk mempercepatkan proses pengeringan, pastikan pemegang wafer mampu menahan haba tersebut. Jika tidak, wafer akan rosak.
Reka bentuk yang efisien
Kami memastikan reka bentuk lampu ini ringkas. Tiada komponen yang berlebihan yang boleh menjadi tempat penumpukan debu. Sambungan antara komponen juga minimum, jadi kurang kemungkinan komponen tersebut rosak. Kami juga menggunakan pengedap khas agar tiada zarah yang masuk ke kawasan pemanasan.
Satu lagi nasihat: lampu ini menghasilkan haba yang tinggi. Kami mencadangkan penggunaan sistem penyejukan khusus untuk bahagian hujung lampu. Ini dapat mengelakkan bahagian tersebut daripada rosak semasa proses pengeluaran yang berpanjangan.