Op de vloer heeft een Aixtron MOCVD-chamber een zeer nauwkeurige temperatuurregeling nodig, zodat de epitaxieproces onder controle blijft. Als het verwarmingselement niet optimaal werkt, neemt de herhaalbaarheid van het proces af. Er ontstaan ongelijkmatigheden in de temperatuur van de wafer en er komen meer defecten voor. Het is dus belangrijk om snel actie te ondernemen.
Wat echt belangrijk is:
Wij maken reserveonderdelen voor de verwarmingselementen van Aixtron, zodat deze goed passen bij het thermische gedrag van de chamber. De geometrie van deze onderdelen is aangepast aan de susceptorzone. We kiezen materialen die snel reageren en over langere tijd een constante weerstand behouden. Hierdoor kan de temperatuur op het niveau van de wafer worden geregeld tot op ±0,1°C, zodat de parameters van het fotoresistproces consistent blijven, lading na lading.
Het apparaat is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Er worden geen deeltjes gegenereerd, zodat het aantal deeltjes tijdens het wisselen van onderdelen constant blijft. Het apparaat kan 24/7 worden gebruikt, met een lange levensduur tussen vervangingen.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie:
In de lithografie en de daarmee samenhangende thermische processen is nauwkeurigheid in de temperatuur cruciaal voor het beheersen van de lijndikte en het voorkomen van defecten. Goede reserveonderdelen van Aixtron zorgen ervoor dat de oorspronkelijke thermische condities behouden blijven, zodat het proces stabiel kan blijven.
De stilstandstijd neemt af, de productie blijft stabiel en de energiebehoeften blijven binnen de grenzen, omdat het apparaat efficiënt warmt en de temperatuur constant houdt. Hierdoor wordt de herhaalbaarheid van het proces verbeterd en wordt de hoeveelheid afval verminderd.
De details die helpen om problemen te voorkomen:
Tijdens de installatie is het belangrijk om rekening te houden met ESD-regels en om de juiste spanning toe te passen op de bevestigingscomponenten. Anders kunnen er micro-gaten ontstaan die de temperatuurverdeling verstoren. Controleer altijd de soort connector, de spanning en de afmetingen in relatie tot de versie van de chamber. Onjuiste interfaces kunnen de thermische verbinding verstoren.
Plan preventieve vervangingen tijdens de geplande onderhoudsmomenten. Op deze manier kun je thermische schokken voorkomen en de coating van de chamber beschermen.