Bij thermische drift wordt dit niet weergegeven als een waarschuwingslicht. In plaats daarvan wordt het weergegeven als een fout in het rapport over de productie.
Het drogen van de wafers, het verhitten van de fotoresist, het verpakken en schoonmaken – al deze processen vereisen een nauwkeurige temperatuurregeling. Een voorverwarmer voor leaddvrije solder moet een constante temperatuur kunnen leveren, zich snel kunnen aanpassen aan de omstandigheden en in een schone ruimte kunnen werken, zonder dat er deeltjes vrijkomen of dat er stilstand optreedt.
Wat belangrijk is
We hebben deze voorverwarmer ontworpen met als doel snelle en gelijkmatige verwarming, met een nauwkeurigheid van ±0,1°C over de hele oppervlakte van de wafer. De setpuntconsequentie zorgt ervoor dat de cruciale dimensionen stabiel blijven. De snelheid waarmee de temperatuur kan worden geregeld, past bij hoge productiesnelheden. De voorverwarmer is ontworpen met weinig deeltjes en hoge zuiverheid, zodat hij geschikt is voor schone ruimtes van klasse 1–100. Hij kan 24/7 draaien, met een betrouwbaarheidsniveau dat ongemakkelijke stilstanden voorkomt. Tijdens het verhitten van de fotoresist blijft de temperatuur stabiel, zodat de dikte van de laag en de hechting behouden blijven.
Waarom het in de praktijk werkt
Bij het drogen en schoonmaken van wafers helpt deze voorverwarmer om vocht te verminderen en te voorkomen dat er opnieuw besmetting optreedt. In de lithografie zorgt de voorverwarmer voor een stabiele temperatuur, zodat er geen problemen zijn met de dikte van de laag. Tijdens het verpakken zorgt de voorverwarmer voor een consistente verbinding tussen de onderdelen, waardoor er minder herwerking nodig is. Hierdoor zijn de cyclustijden voorspelbaar, is er minder afval en kan er energie worden bespaard door kortere verhittingsprocessen.
Wat je moet plannen
Deze voorverwarmer is gemakkelijk te integreren in bestaande systemen, dankzij de standaardmechanische en elektrische interfaces. Je moet echter wel controleren of de afmetingen en benodigde apparatuur passen binnen je productielijn. Plan ook voor voldoende ventilatie in de schone ruimte, en zorg ervoor dat de stroomvoorziening en aarding stabiel zijn. Het is belangrijk om de voorverwarmer goed af te stemmen op je productielijn, zodat de gewenste uniformiteit en cyclustijden worden behaald.