Litografide, “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” işlemleri sadece “fotoresistanın ayarlanması” adımları değildir. Bu işlemler, kritik boyutların belirlenmesini sağlar. Wafer üzerindeki 0,3°C’lik bir sıcaklık değişimi bile çizgi kalınlıklarını standartların dışına çıkarabilir ve tüm üretimi boşa çıkarabilir. Biz de bu sorunu ortadan kaldırmak için DUV tipi fotoresistan pişirme lambası geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olan şeyler
Bu cihaz, milimetre altı düzeyde eşitlik sağlayan bir termal alan oluşturmak için yakın kızılötesi ısıtma teknolojisini kullanır; wafer yüzeyindeki sıcaklık farkı ±0,1°C civarındadır. Lambanın çıkışı kapalı döngü kontrolüyle yönetildiğinden, ürünler arasında tutarlılık sağlanır. Böylece, ister geliştirme aşamasında isterse üretim aşamasında olsun, fotoresistanın pişirme sıcaklığı sabit kalır.
Temiz oda uyumluluğu
Bu cihazın tasarımında temiz oda gereksinimleri göz önünde bulundurulmuştur. Düşük gaz salınımı yapan malzemeler ve partikül kontrolü sayesinde waferin kirlenmesi engellenir.
Neden gerçek üretim ortamlarında işe yarar?
24/7 çalışan üretim tesislerinde plansız duruşlar, üretime ara verilmesi anlamına gelir. Bu lamba, her hat üzerinde plansız duruş olmadan çalışır ve verimlilikten ödün vermeden sürekli çalışır. Hızlı termal tepki süresi sayesinde pişirme süreleri kısalır ve enerji tüketimi azalır. Böylece gün başına daha fazla wafer elde edilir, daha az yeniden işleme gerekiyor ve litografi süreci daha düzgün ilerler; bu da daha az atık anlamına gelir. Pişirme sırasında hiçbir partikül oluşmadığı için, en hassas aşamalarda bile verimlilik korunur; çünkü tek bir kusur bile cihazın işlevsiz hale gelmesine neden olabilir.
Önceden bilmeniz gerekenler
Kurulum oldukça basittir, ancak lambanın termal yük profiline uygun özel bir güç ve soğutma sistemi gereklidir. Mevcut sistemlere sorunsuz bir şekilde entegre olur, ancak yerleşim planlamasını ve gerekli altyapıyı önceden planlamak gerekir; aksi takdirde hatların yeniden yapılandırılmasıyla ilgili gecikmeler yaşanır. Önce altyapıyı doğru şekilde hazırlayın; ardından ilk kalifikasyon işleminden itibaren pişirme parametrelerinin sabitleneceğini bekleyebilirsiniz.