کیوں IR حرارت دینے کا طریقہ، فورسڈ ایر کے مقابلے میں بہتر ہے؟
اگر آپ نے سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے کاموں میں کبھی وقت گزارا ہے، تو آپ کو انتظار کرنے کی تکلیف کا اندازہ ہوگا۔
لمبے عرصے تک ہم فورسڈ ایر کا استعمال کرتے رہے – یعنی گرم ہوا کو چلانے سے کام مکمل کیا جاتا تھا۔ لیکن اس میں ایک مسئلہ یہ ہے کہ پہلے ہوا کو گرم کرنا پڑتا ہے، پھر وہ ہوا ہی ویفر کو گرم کرتی ہے۔ یہ تو ایسے ہی ہے جیسے کسی گھر کو گرم کرنے کے لئے پہلے اس کے دروازے کو گرم کیا جائے۔ اس طریقے میں بہت وقت لگتا ہے۔
IR حرارت دینے کا طریقہ اس مسئلے کو حل کرتا ہے۔ اس طریقے میں درمیانی عنصر کی ضرورت نہیں ہے۔ آپ براہِ راست الیکٹرومیگنیٹک تابکاری کا استعمال کرکے توانائی کو سیدھے ویفر میں منتقل کرتے ہیں۔
وقت ہمیشہ اہم ہے
اس کاروبار میں وقت ہی وہ چیز ہے جسے زیادہ حاصل نہیں کیا جاسکتا۔ جب فورسڈ ایر کا استعمال کیا جاتا ہے، تو طویل وقت لگتا ہے، کیوں کہ تھرمل شاک سے بچنے کے لئے ایسا کرنا ضروری ہے۔ یہ طریقہ بہت سست ہے۔
IR لیمپس؟ یہ چند سیکنڈوں میں ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتے ہیں۔
یہی وہ جگہ ہے جہاں ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (RTP) واقعی کارگر ثابت ہوتی ہے۔ چونکہ IR تابکاری سطح کے اندر جاتی ہے، اس لئے حرارت فوراً ہی ویفر میں پہنچ جاتی ہے۔ آپ کو پورے چیمبر کے گرم ہونے کا انتظار نہیں کرنا پڑتا۔
بہترین کنٹرول
سب سے بہترین بات یہ ہے کہ اس طریقے میں بہترین کنٹرول ممکن ہے۔ ہم درستگی سے IR سینسرز کا استعمال کرکے ویفر کی سطح پر نظر رکھتے ہیں۔ اگر درجہ حرارت میں کوئی تبدیلی ہو جاتی ہے، تو کنٹرولر فوراً ہی پاور کو کم کر دیتا ہے۔ کوئی غلطی نہیں ہوتی۔
فورسڈ ایر کے مقابلے میں، ہوا میں بہت زیادہ “تھرمل انرشیا” ہوتی ہے۔ جب ہوا بہت گرم ہو جاتی ہے، تو اسے فوراً ٹھنڈا نہیں کیا جاسکتا۔ IR کے ذریعے، آپ تیزی سے درجہ حرارت کو کنٹرول کر سکتے ہیں۔
حقیقت
میں یہ نہیں کہہ رہا کہ IR بالکل بہترین ہے۔ اس میں بھی کچھ خامیاں ہیں۔
سب سے بڑی مشکل یہ ہے کہ اگر ویفر کی شکل عجیب ہے، یا کوئی چیز روشنی کو روکتی ہے، تو کچھ جگہیں ٹھنڈی رہ جاتی ہیں۔ آپ کو لیمپوں کی ترتیب کے بارے میں بہت احتیاط کرنی پڑتی ہے، تاکہ ہر جگہ یکساں حرارت پہنچ سکے۔
اور چونکہ پاور ڈینسٹی بہت زیادہ ہے، اس لئے کولنگ سسٹم پر بھی توجہ دینا ضروری ہے۔ ورنہ باقی آلات بھی خراب ہو سکتے ہیں۔
لیکن درحقیقت، یہ تبادلہ بالکل منطقی ہے۔ زیادہ تر بڑی فیکٹریوں نے پہلے ہی اس طریقے کو اختیار کر لیا ہے۔ جب 20 منٹ کا عمل صرف 20 سیکنڈ میں مکمل ہو سکتا ہے، تو پھر پیچھے مڑنے کی کوئی ضرورت نہیں۔