Giữ cho các tấm wafer MEMS luôn sạch sẽ trong quá trình sấy khô
Nếu bạn đang hoạt động trong phòng sạch loại Class 100, thì bạn chắc hẳn đã biết rõ điều kinh khủng này: chỉ cần một hạt bụi nhỏ hay một hơi hóa chất lẫn vào, toàn bộ sản phẩm của bạn sẽ trở thành vô dụng.
Vấn đề là hầu hết các bộ phận tạo nhiệt đều khá bẩn. Khi chúng được làm nóng, chúng có xu hướng tạo ra những mảnh vụn siêu nhỏ hoặc giải phóng các chất hữu cơ bay hơi ngay lên bề mặt wafer. Đó chính là nguyên nhân gây ra những hậu quả tồi tệ.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các bóng đèn IR làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Những bóng đèn này không gây ra những vấn đề như vậy.
Tại sao chúng tôi chọn thạch anh tinh khiết?
Chúng tôi sử dụng thạch anh vì nó rất bền. Thủy tinh thông thường hoặc thạch anh giá rẻ thường bị vỡ hoặc nứt khi bị làm nóng. Nhưng thạch anh thì không như vậy.
Điều tốt nhất là bức xạ IR có thể xuyên qua lớp chất lỏng trên bề mặt wafer một cách dễ dàng. Điều này giúp làm bay hơi độ ẩm nhanh chóng. Vì không có gì tiếp xúc trực tiếp với bề mặt wafer, nên bạn không cần lo lắng về việc xảy ra vết xước hoặc bụi bẩn trên bề mặt wafer.
Điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác
Chúng tôi sử dụng bức xạ IR bước sóng ngắn. Bức xạ này có thể tác động lên bề mặt wafer ngay lập tức.
Điều này giúp quá trình sấy diễn ra nhanh chóng. Nếu chất dung môi mất quá nhiều thời gian để bay hơi, thì sẽ xuất hiện những vết nước trên bề mặt wafer.
Chúng tôi dành nhiều thời gian để điều chỉnh công suất và điện áp sao cho nhiệt độ được phân bổ đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer. Lưu ý: nếu bạn tăng công suất để tăng tốc độ sấy, hãy chắc chắn rằng thiết bị giữ wafer có thể chịu được nhiệt độ đó. Nếu không, wafer sẽ bị biến dạng.
Thiết kế gọn gàng
Chúng tôi thiết kế các bộ phận sao cho gọn gàng, không có những bộ phận cồng kềnh có thể gây tích tụ bụi bẩn.
Các kết nối cũng được tối giản, nhờ đó giảm thiểu nguy cơ hư hỏng. Chúng tôi cũng sử dụng các vật liệu đóng kín để ngăn không cho bụi bẩn lọt vào khu vực tạo nhiệt.
Một lưu ý cuối cùng: những bóng đèn này hoạt động ở nhiệt độ cao. Chúng tôi khuyên nên sử dụng hệ thống làm mát riêng cho các đầu đèn. Điều này giúp ngăn chặn việc các đầu đèn bị hư hỏng trong quá trình sản xuất.