Hãy ngừng để những bóng đèn hỏng phá hủy sản lượng wafer của bạn!
Trong các nhà máy chế tạo bán dẫn có công suất cao, việc một bóng đèn hồng ngoại bị nổ chính là một tình huống kinh khủng. Khi một trong những ống thủy tinh này bị vỡ, nó không chỉ ngăn cản việc truyền nhiệt mà còn khiến các mảnh thủy tinh và chất hóa học rơi xuống các wafer. Chỉ cần một lần như vậy thôi, cả một lô wafer sẽ bị ô nhiễm. Điều này gây ra nhiều rắc rối, tốn kém chi phí, và hoàn toàn có thể tránh được.
Tại sao chúng lại bị vỡ?
Những bóng đèn có công suất cao phải chịu áp lực rất lớn. Chúng liên tục phải chịu tác động của nhiệt độ và áp suất cao, điều này khiến ống thủy tinh bị tổn thương. Cuối cùng, ống thủy tinh sẽ bị nứt, chân không bị mất đi, và sợi dây tóc bên trong sẽ bị cháy. Nếu hệ thống hoạt động trong môi trường mở, tất cả các mảnh vụn sẽ rơi xuống các wafer.
Giải pháp đơn giản: Vỏ bảo vệ an toàn
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách tạo ra một lớp bảo vệ giữa bóng đèn và các wafer. Vỏ bảo vệ này chính là một lớp vật liệu chịu nhiệt tốt, có khả năng ngăn chặn các mảnh vụn rơi xuống wafer. Như vậy, các wafer vẫn giữ được trạng thái sạch sẽ.
Chúng tôi cũng chú trọng đến chất liệu sử dụng. Chúng tôi sử dụng các vật liệu ít thải khí ra ngoài, để tránh việc có các hợp chất hữu cơ lơ lửng trong môi trường sạch. Lớp vỏ bảo vệ phải đủ chặt để ngăn chặn các hạt vụn di chuyển, nhưng vẫn cho phép ống thủy tinh co giãn khi nóng lên.
Đánh đổi cần thiết
Việc sử dụng lớp vỏ bảo vệ có nghĩa là sẽ có thêm một lớp vật liệu nữa giữa bóng đèn và wafer. Do đó, hiệu suất hoạt động của bóng đèn sẽ giảm đi một chút. Có thể sẽ mất thêm vài giây để đạt được nhiệt độ mong muốn. Nhưng hãy nhớ rằng, việc chờ thêm một chút vẫn tốt hơn là phải vứt bỏ cả một lô wafer chỉ vì một bóng đèn bị hỏng.
Một vài mẹo nhỏ để đảm bảo hoạt động ổn định: Hãy đảm bảo nguồn điện được điều chỉnh phù hợp với trở kháng của bóng đèn, để các mép của lớp vỏ bảo vệ không bị quá nóng. Đồng thời, hãy duy trì dòng khí lưu thông xung quanh vỏ bảo vệ để ngăn chặn hiện tượng tích tụ nhiệt.
Thật đơn giản phải không?