Bảo vệ các bóng đèn hồng ngoại trong thiết bị làm sạch wafer
Thành thật mà nói, việc lắp đặt các bóng đèn hồng ngoại vào thiết bị làm sạch wafer giống như việc chơi với lửa vậy. Khi bạn ở trong môi trường đầy khí hóa học dễ cháy – hoặc thậm chí dễ nổ – chỉ cần một tia lửa nhỏ hay một mảnh vật liệu cách điện bị nứt cũng có thể biến một ngày tồi tệ thành thảm họa.
Đó là lý do tại sao chúng ta không chỉ đơn giản “lắp đặt” các bóng đèn này vào thiết bị. Chúng ta phải bọc chúng trong lớp vật liệu kín khít.
Ngăn chặn tia lửa
Các bóng đèn hồng ngoại thông thường không thể chịu được môi trường đầy hóa chất như vậy. Để khắc phục điều này, chúng ta sử dụng phương pháp đóng gói đa lớp, giúp các đầu nối điện được bảo vệ hoàn toàn khỏi môi trường bên ngoài. Chúng ta đặt bóng đèn vào lớp thủy tinh tinh khiết, sau đó niêm phong chúng bằng vật liệu gốm và keo công nghiệp có khả năng chống lại sự ăn mòn của hóa chất. Nhờ vậy, các khí hóa học có tính ăn mòn sẽ không thể làm hỏng dây dẫn hay gây ra hiện tượng cháy nổ.
Sự hy sinh vì an toàn
Việc sử dụng nhiều lớp vật liệu bảo vệ và lớp thủy tinh dày sẽ khiến nhiệt lượng khó lan đến wafer hơn. Bạn có thể nhận thấy rằng thời gian cần để bóng đèn hoạt động sẽ lâu hơn so với trường hợp bóng đèn được để trong môi trường thông thường. Đó là cái giá phải trả để đảm bảo an toàn. Để khắc phục điều này, chúng ta điều chỉnh công suất của bóng đèn sao cho nhiệt độ trong quá trình xử lý vẫn ổn định, mà không làm tan chảy lớp vật liệu bảo vệ.
Lưu ý khi lắp đặt
Khi lắp đặt, hãy chú ý đến các điểm kết nối. Chúng ta sử dụng các tiếp điểm được mạ vàng hoặc niken, vì sự oxi hóa là một vấn đề nghiêm trọng trong môi trường có độ ẩm cao. Điều này giúp duy trì sự kết nối ổn định và ngăn chặn hiện tượng cháy nổ.
Hãy kiểm tra kỹ các đầu nối. Nếu bạn thấy dấu hiệu biến màu, hãy lập tức rút bóng đèn ra khỏi thiết bị. Đó là dấu hiệu cho thấy lớp vật liệu bảo vệ đã yếu đi, và đó là mối nguy hiểm mà chúng ta không thể chấp nhận.
Ngoài ra, hãy kiểm tra kỹ các quạt làm mát. Nếu chúng không hoạt động đúng cách, lớp keo bảo vệ sẽ dần mềm đi, và mọi thứ sẽ quay trở lại trạng thái ban đầu.