晶圆加热的安全距离

在红外加热过程中准确控制距离的重要性 如果我们真的想减少半导体工厂的碳足迹，那就必须减少对电阻式加热的依赖。短波红外线才是更好的选择。不过，整个系统的成败取决于“安全距离”——也就是灯与晶圆之间的那微小间隙。 如果这个间隙太大，那么加热的能量就会浪费在加热炉壁上了；而如果间隙太小，则可能导致晶圆受...