深紫外光抗蚀剂烘烤灯

在光刻工艺中，软烘烤和硬烘烤并非仅仅是“让光阻固化”的步骤而已。实际上，它们决定了产品的关键尺寸精度。如果晶圆的温度出现0.3°C的偏差，就可能导致线宽超出标准范围，进而使得整个批次的产品都无法使用。我们设计了DUV光阻烘烤灯，以此来消除这种温度波动带来的影响。 从技术角度来看，什么才是最重要的？...