在光刻工艺中，软烘烤和硬烘烤并非仅仅是“让光阻固化”的步骤而已。实际上，它们决定了产品的关键尺寸精度。如果晶圆的温度出现0.3°C的偏差，就可能导致线宽超出标准范围，进而使得整个批次的产品都无法使用。我们设计了DUV光阻烘烤灯，以此来消除这种温度波动带来的影响。
从技术角度来看，什么才是最重要的？ 该灯具利用近红外光进行加热，从而在晶圆表面形成均匀的热场——其均匀度可达±0.1°C。由于灯具的输出功率是经过闭环控制的，因此能够确保不同批次的产品具有相同的加工质量。这意味着，无论是在测试阶段还是生产阶段，光阻的烘烤温度都能保持稳定。
此外，该灯具还具备与洁净室环境相兼容的特性。它使用低挥发性的材料，并通过控制热区的颗粒数量来避免晶圆受到污染。
为什么它在实际生产环境中表现良好？ 在24小时不间断运转的工厂里，任何意外的停机时间都会带来巨大的损失。而这款灯具则可以持续不断地为生产线提供动力，无需担心意外停机的问题。它的快速热响应特性还能缩短烘烤时间，同时降低能耗。
这样一来，每天处理的晶圆数量就会增加，返工率也会降低，从而减少废品率。在烘烤过程中不会产生任何颗粒物，这有助于保护那些对缺陷极为敏感的芯片，因为哪怕一个微小的缺陷都可能导致芯片失效。
你需要提前了解的信息： 虽然该灯具的安装相当简单，但它需要配备与其热负荷相匹配的专用电源和冷却系统。它可以很容易地集成到现有的生产线中，但需要提前规划好相关设施的布局，否则就会导致生产线调整的延误。
先确保各项设施都准备就绪，这样，第一批产品进行测试时，其烘烤参数就能立刻得到精确控制。