在制造车间，7×24不容忍漂移。一个灯的故障，您的软烘烤就会漂移。CD均匀性受到影响。接下来您会发现，批次被隔离。我们设计了这个RTP灯，以消除这种风险。
技术上的重要性： 该设备在密封的石英组件中运行短波卤素灯，将热量快速、定向地放置在需要的地方，并在严格的光谱控制下。整个工艺窗口内，晶圆级温度均匀性保持在±0.1°C，因此软烘烤和硬烘烤的曲线在每个批次间保持可重复性。它适合于1到100级的洁净室，且我们已经在使用点验证了零颗粒生成。在生产负载下，热系统保持设定点稳定，因此您的热预算在图案化和烘烤过程中保持一致。
在光刻中的优势： 在光刻线中，这个灯保持光刻胶处理在规范范围内：光刻胶流动、溶剂去除和交联保持控制——在每个班次中都具有相同的可重复性。可靠性目标是零非计划停机，设计寿命超过5000小时，输出衰减最小。更少的中断。更少的返工批次。稳定的产量。能耗得到优化，同时不影响升温速率，因此周期时间保持紧凑，公用事业支出降低。
您需要计划的内容： 安装时需要将灯与精确的RTP腔体占地面积和连接器接口匹配。如果终端或反射器几何形状不准确，您将付出均匀性方面的代价。预计会有一次短暂的调试运行，以锁定您的配方的发射率和测温偏差。一旦对齐，灯就会按预期运行——请安排替换，以保持洁净室中的颗粒计数处于可控范围内。