顶级RTP灯用于半导体制造

在制造车间，7×24不容忍漂移。一个灯的故障，您的软烘烤就会漂移。CD均匀性受到影响。接下来您会发现，批次被隔离。我们设计了这个RTP灯，以消除这种风险。 技术上的重要性： 该设备在密封的石英组件中运行短波卤素灯，将热量快速、定向地放置在需要的地方，并在严格的光谱控制下。整个工艺窗口内，晶圆级温度...