佳能平版印刷用加热灯管

在光刻工艺中，烘烤温度出现0.5°C的偏差其实并非“微小的误差”，而会直接影响产品的良率。软烘和硬烘过程决定了温度控制精度、线条宽度以及可保留的溶剂量。一旦加热元件性能下降，立刻就会显现出来——比如出现驻波现象、粘附力下降，从而导致线条无法正常形成。 从技术层面来看，什么才是关键？ 我们为佳能光刻...