晶圆固化灯用反射器

在晶圆加工过程中，你知道的，只要光刻胶的烘烤温度偏差达到0.2摄氏度，就足以导致关键尺寸不符合标准。而晶圆固化灯中的反射器呢？它可不是普通的部件而已。它实际上决定了作用在每个芯片上的热量分布情况。如果热量分布不均，就会出现曝光不均匀、表面有瑕疵等问题，而这些问题往往要等到电气测试时才会显现出来。...