无臭氧红外灯

减少半导体加热过程中的碳排放与臭氧生成 如果你曾在洁净室工作过，就会知道其中的不便之处。在洁净室中，需要极高的温度控制精度，而所使用的设备却常常带来新的问题。 传统的短波红外灯会发出波长低于200纳米的光线。问题在于，这些光线会与氧气反应，从而产生臭氧。在洁净环境中，臭氧堪称“害虫”——它会侵蚀设...