FOUP 前开式统一罩 干燥机

在光刻车间，从清洗槽返回的湿FOUP是一个你在看到之前就能感受到的问题。残留水分会导致软烘偏移、线宽异常和报废。你需要确保FOUP在进入传送轨道前达到彻底干燥，且这种干燥状态必须批次间保持一致。 技术关键点 我们目标是在载具范围内实现晶圆级热均匀性保持在±0.1°C以内，确保每片晶圆都经历相同的热...