为何镀金反射器如此重要 在加热硅晶圆时，每一分被浪费的能量实际上都相当于白白流失的钱财。 大多数普通反射器的反射效率较低，它们会让过多的热量散失到机器的机壳中，这无疑是一种浪费。因此，我们选择使用黄金作为反射材料。黄金具有出色的红外线反射能力，这样热量就不会渗入机壳中，而是会被反射回晶圆上。 黄金...

在光刻工艺中，烘烤温度出现0.5°C的偏差其实并非“微小的误差”，而会直接影响产品的良率。软烘和硬烘过程决定了温度控制精度、线条宽度以及可保留的溶剂量。一旦加热元件性能下降，立刻就会显现出来——比如出现驻波现象、粘附力下降，从而导致线条无法正常形成。 从技术层面来看，什么才是关键？ 我们为佳能光刻...