
为何镀金反射器如此重要
在加热硅晶圆时,每一分被浪费的能量实际上都相当于白白流失的钱财。 大多数普通反射器的反射效率较低,它们会让过多的热量散失到机器的机壳中,这无疑是一种浪费。因此,我们选择使用黄金作为反射材料。黄金具有出色的红外线反射能力,这样热量就不会渗入机壳中,而是会被反射回晶圆上。
黄金与铝的比较
市面上有很多铝制反射器,虽然它们很常见,但其在处理红外线方面的性能远不如黄金。 我们在表面涂上一层薄薄的黄金,以此将能量吸收降到最低。我们的目标很简单:让灯泡发出的每一点能量都能直接作用于晶圆上。这样可以获得更集中的焦点,并使热量均匀分布。这样就不用再担心那些会导致晶圆变形的热点问题了。
提高热流强度
我们设计的灯泡是为高强度工作而打造的。通过将短波红外线源与镀金表面结合在一起,可以更快地将更多的能量传递到目标物体上。 这无疑能大大缩短加工时间。不过,这也带来了一个问题:如此高的能量密度会对冷却系统造成巨大压力。如果冷却系统无法应对这种高温,环境温度就会上升。这一点需要特别注意。
确保设备正常运行
我们设计的灯泡易于更换。无论使用的是R7接口还是其他类型的接口,都可以直接替换。您不必花费整个下午的时间来重新调整整个系统,只需更换一个部件即可。 还有一个重要提示:务必保持镀金表面的清洁。即使是少量的指纹或灰尘,也会在辐射图案上形成“暗点”。请使用无绒布和合适的溶剂来保持表面的光亮。如果涂层开始剥落或氧化,设备的效率就会下降。此时,您不得不提高电压来弥补损失,而这只会加速灯泡的损坏。