快速终结晶圆污染的噩梦
说实话，当高负荷运行时红外灯突然损坏，那简直就是一场灾难。这不仅仅意味着生产中断的问题，更会导致严重的混乱状况。 玻璃碎片和钨丝会直接掉落在晶圆上。这样一来，整个批次的产品都会变废品，而且还需要对整个腔体进行彻底清洁。这真是让人头疼不已的事情。
不仅仅是“反射器”
因此，我们不会把铝制反射器仅仅视为“热量导向装置”。的确，它们可以将红外辐射反射回晶圆上，从而提升效率，但同时它们也是防止故障的第一道防线。 我们使用高纯度的铝材，并对其进行特殊的阳极处理。因为最糟糕的情况就是：在加热或冷却过程中，反射器本身出现剥落或释放气体的情况。 此外，我们还努力减小灯管与反射器之间的间隙。这样就可以将碎片困在区域内，一旦灯管损坏，碎片也就无处可去了。
平衡功率与安全性
虽然将灯管的功率提升到最大值有助于提高生产效率，但这也会带来热冲击的风险。为了防止某个故障的灯管毁掉整批产品，我们会使用防护罩。 可以把防护罩看作是一种安全网。我们在灯管和晶圆之间放置一层石英或蓝宝石制成的防护管。如果灯管发生故障，防护管就能接住那些碎片。 铝制反射器则负责将整个结构固定在一起，确保灯管始终处于正确的位置。这样可以避免因热量分布不均而导致的灯管过早损坏。
折中方案
不过，增加防护管和更坚固的反射器会增加加热头的重量。由于有了额外的重量，启动时间会比使用普通灯管时稍长一些。不过，为了避免晶圆被污染的灾难性后果，这点小代价是值得的。 需要注意的是，你需要调整PID控制器，以应对额外的热质量。一旦调整到位，温度控制就会更加精确了。