MEMS传感器晶圆干燥加热器

在干燥过程中保持MEMS晶圆的洁净度 如果您是在100级洁净室中工作，那么您应该很清楚其中的风险：哪怕有一粒微小的灰尘或有害化学物质进入晶圆表面，整批产品都会报废。 问题在于，大多数加热元件其实都非常脏。当它们被加热时，很容易产生微小的碎片，或者释放出挥发性有机化合物，这些物质会污染晶圆表面。这简...