通过镀金红外灯减少能源浪费 如果您经营着半导体工厂，那么您肯定知道，在不降低生产速度的情况下实现“绿色生产目标”并非易事。大部分能源浪费都发生在加热和冷却过程中。而镀金短波红外灯则可以解决这个问题——它们能够有效阻止能量流失，从而让晶圆在合适的温度下被加热，同时避免过度耗电。 镀金层的工作原理如下...

如何保持100级洁净室的清洁状态 如果你正在运营100级洁净室，那么你肯定明白其中存在的麻烦。哪怕有一点点灰尘或气体进入，整批晶圆就会毁掉。 真正的隐患在于加热元件。大多数加热元件并不适合在如此高的温度下工作。它们会在高温下释放出微粒，或者发生损坏，这样一来，原本“洁净”的环境也就不再洁净了。 我...

别再等待传送带升温了：红外加热与热风加热的对比 在深度加工过程中，晶圆的温度稳定性至关重要。但如果仍然使用热风循环来保持传送带的温度，那无疑是在浪费大量时间。 最近，越来越多的工厂开始转向红外加热方式。原因很简单：热风的加热效率实在太低了。 漫长的等待过程 想想热风是如何工作的吧。首先需要加热空气...

停止加热机器的金属外壳吧 如果你曾经操作过半导体设备，那你就知道这种糟糕的情况了：你试图加热某个特定的部件，结果整个机器的外壳都变得滚烫，触碰起来十分危险。这真是令人烦恼。 问题在于，大多数加热器会将热量向各个方向散发出去。它们是全方向发热的，因此热量会散布到机器的各个部位，而无法集中作用于目标部...

在晶圆台面上，温度控制器显示为120.0°C。晶圆放置在热板上，等待设定光刻胶轮廓的软烘烤。但控制器的显示仅是一个承诺。若没有热电偶实际测量加热器在晶圆平面的温度输出，这个承诺只是一个估算。烘烤过程中温度偏差2°C可能导致光刻胶玻璃化转变温度（Tg）变化、反射率改变，从而悄无声息地破坏线宽控制。尝...