在干燥过程中保持MEMS晶圆的洁净度
如果您是在100级洁净室中工作，那么您应该很清楚其中的风险：哪怕有一粒微小的灰尘或有害化学物质进入晶圆表面，整批产品都会报废。
问题在于，大多数加热元件其实都非常脏。当它们被加热时，很容易产生微小的碎片，或者释放出挥发性有机化合物，这些物质会污染晶圆表面。这简直就是一场灾难的隐患。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外线灯。因为这类灯不会产生上述问题。
为何选择纯石英
我们使用熔融石英，因为它非常坚固。普通的玻璃或廉价石英在受热时容易碎裂，但熔融石英则不会。
最棒的是，红外线可以直接穿透晶圆表面的液体层，从而快速蒸发水分。由于没有任何东西接触到晶圆表面，因此不必担心晶圆会被划伤或沾上污物。
确保热量恰到好处
我们使用短波红外线，因为它能几乎立刻照射到晶圆表面。速度很快。这一点非常重要，因为如果溶剂蒸发得过慢，就会在晶圆表面留下水渍。
我们需要花费大量时间来调整功率和电压，以确保整个晶圆表面都能得到均匀的热量。需要注意的是，如果为了加快蒸发速度而提高功率，必须确保晶圆固定装置能够承受这样的高温，否则晶圆可能会变形。
简化设计
我们尽量简化设计，避免使用那些容易积聚灰尘的复杂结构。连接部件也尽可能少，这样就能减少故障的可能性。此外，我们还使用专门的密封装置，防止电信号中的颗粒物进入加热区域。
最后一点提醒：这些灯在运行时会变得非常热。建议为灯的末端配备专用的冷却系统，这样才能避免灯的插座在长时间工作时被烧坏。