在出现问题时仍能保持洁净的制造环境 在那些高产量生产的工厂里，红外灯发生故障无疑是一场灾难。这不仅会导致生产中断，还会造成严重的混乱——当石英管破裂时，玻璃碎片和钨丝会掉落在晶圆上，导致整批产品报废。 我们特意设计出能够防止这种情况发生的灯具。 应对温度波动的挑战 大多数灯具之所以会损坏，是因为它...

在干燥过程中保持MEMS晶圆的洁净度 如果您是在100级洁净室中工作，那么您应该很清楚其中的风险：哪怕有一粒微小的灰尘或有害化学物质进入晶圆表面，整批产品都会报废。 问题在于，大多数加热元件其实都非常脏。当它们被加热时，很容易产生微小的碎片，或者释放出挥发性有机化合物，这些物质会污染晶圆表面。这简...

在晶圆制造车间，晶圆干燥和光刻胶烘烤不是可选的热处理步骤——它们是无法规避的工艺限制。对流烘箱需要克服热滞后和边缘到中心的温度梯度，这会导致清洗后出现微小液滴，或软烤后出现CD（临界尺寸）偏移。最终你会不断追踪良率漂移，这表现为光刻工艺中的重复性失效。 技术关键点 红外加热提供直接的辐射热，因此晶...