半导体加热器用热电偶

在晶圆台面上，温度控制器显示为120.0°C。晶圆放置在热板上，等待设定光刻胶轮廓的软烘烤。但控制器的显示仅是一个承诺。若没有热电偶实际测量加热器在晶圆平面的温度输出，这个承诺只是一个估算。烘烤过程中温度偏差2°C可能导致光刻胶玻璃化转变温度（Tg）变化、反射率改变，从而悄无声息地破坏线宽控制。尝...