为何镀金反射器如此重要 在加热硅晶圆时，每一分被浪费的能量实际上都相当于白白流失的钱财。 大多数普通反射器的反射效率较低，它们会让过多的热量散失到机器的机壳中，这无疑是一种浪费。因此，我们选择使用黄金作为反射材料。黄金具有出色的红外线反射能力，这样热量就不会渗入机壳中，而是会被反射回晶圆上。 黄金...

快速终结晶圆污染的噩梦 说实话，当高负荷运行时红外灯突然损坏，那简直就是一场灾难。这不仅仅意味着生产中断的问题，更会导致严重的混乱状况。 玻璃碎片和钨丝会直接掉落在晶圆上。这样一来，整个批次的产品都会变废品，而且还需要对整个腔体进行彻底清洁。这真是让人头疼不已的事情。 不仅仅是“反射器” 因此，我...

在晶圆加工过程中，你知道的，只要光刻胶的烘烤温度偏差达到0.2摄氏度，就足以导致关键尺寸不符合标准。而晶圆固化灯中的反射器呢？它可不是普通的部件而已。它实际上决定了作用在每个芯片上的热量分布情况。如果热量分布不均，就会出现曝光不均匀、表面有瑕疵等问题，而这些问题往往要等到电气测试时才会显现出来。...