艾克斯龙加热元件备件

在地面上的Aixtron MOCVD反应炉中，必须拥有极其精确的温度控制能力，这样才能确保外延生长过程符合标准。如果加热元件的性能出现偏差，那么每次运行的重复性就会受到影响。此时，设定温度会发生变化，晶圆上的温度也会不均匀，缺陷数量也会随之增加。显然，不能等待问题自行解决。 什么是真正重要的 我们...