晶圆加工设备用温度传感器

如何确保晶圆处理设备中红外灯的安全使用 说实话，将红外加热灯放入晶圆清洗设备中，就如同在玩火一样危险。周围充满了易燃甚至易爆的化学气体，哪怕有一点点火花或绝缘层出现破裂，都可能让本来糟糕的情况变成灾难。 因此，我们不会简单地“安装”这些灯泡，而是会用密封装置将其包裹起来。 防止火花产生 普通的红外...