装置を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。
バイオセンサーの製造に携わったことがある方なら、熱管理の難しさをご存知でしょう。一般的なIRランプは、基本的には電球のようなもので、熱があらゆる方向に放出されます。
問題は、そのエネルギーのほとんどが基板に届かないという点です。代わりに、機械の内部の壁に当たってしまいます。その結果、機械の外殻が熱くなり、無駄な電力が消費されてしまいます。これは非効率的であり、安全上のリスクもあります。
熱を本来あるべき場所に送る
私たちは、ビームを集中させることでこの問題を解決しようとしました。単純な石英管を使う代わりに、反射板やフィルターを使ってIRエネルギーを正確に一直線に送り込みます。
これは、スポットライトから懐中電灯に切り替えるようなものです。すべてのエネルギーがウェーハに直接当たります。熱が機械の内部で散乱しないため、機械自体が冷たく保たれ、材料もより速く適切な温度に到達します。
デメリット（必ずあるものです）
ただし、ビームを集中させると、誤差の余地がなくなります。位置合わせを完璧に行わなければなりません。ランプが数ミリでもずれると、基板に低温部分ができてしまい、品質管理に支障が出ます。設置時に適当に処理することはできず、すべてを正確に固定するための確実な支持構造が必要です。
工場での実際の意味
最良の点は、電子機器が壊れないように巨大な冷却ファンを購入する必要がなくなることです。エネルギー密度を化学反応に集中させることで、作業環境が変わります。より安全で、音も静かになります。また、プロセスに全く役立たない電力代も不要になります。