Hören Sie auf, die Wände der Maschine zu erhitzen!
Wenn Sie schon einmal mit Halbleiterausrüstung gearbeitet haben, kennen Sie dieses Problem. Man versucht, einen bestimmten Bauteil zu erhitzen – doch plötzlich ist das gesamte Maschinengehäuse extrem heiß zum Anfassen. Das ist frustrierend.
Das Problem ist, dass die meisten Heizgeräte die Energie einfach überallhin abgeben. Sie strahlen in alle Richtungen – dadurch wird die Wärme in die Wände der Maschine geleitet, anstatt direkt auf das Ziel zu wirken. Das ist Energieverschwendung – und außerdem ein Sicherheitsrisiko.
Wir lösen dieses Problem, indem wir direktionale Infrarotlampen verwenden.
Der Schlüssel liegt im Fokussieren der Energie.
Anstatt die Wärme in alle Richtungen zu strahlen, richten diese Lampen die Energie direkt auf das Werkstück. Stellen Sie es sich wie den Wechsel von einem Flutlicht auf ein Scheinwerferlicht vor. Da wir den Ausstrahlungswinkel kontrollieren können, bleiben die Außenwände kühl. Kein „heiße-Wand“-Effekt mehr – und keine Sorgen mehr darum, dass ein Mitarbeiter verbrannt wird.
Außerdem funktioniert es einfach besser. Wenn man nicht mehr versucht, die Luft sowie den Metallrahmen zu erhitzen, sinken die Energiekosten. Die Aufwärmzeit verkürzt sich, denn alle Energie geht direkt in das Wafer oder Substrat. Man kann sogar auf diese voluminösen Isolierschichten oder teuren Kühljacketts verzichten. Warum Geld für die Kühlung des Gehäuses ausgeben, wenn man die Wärme einfach nicht dorthin lassen kann?
Achtung: Direktionale Erwärmung ist kein „Set-and-Forget“-Lösung. Es gibt einen Kompromiss: Je schmaler der Strahl ist, desto genauer muss die Ausrichtung sein. Wenn die Lampe auch nur um ein paar Millimeter falsch positioniert ist, entstehen heiße Stellen am Werkstück. Deshalb sind die Befestigungsbrackets sehr wichtig – sie müssen den Fokuspunkt genau halten.
Mein Rat: Legen Sie sich einen Hinweis für eine regelmäßige Überprüfung der Ausrichtung fest. Es dauert nur ein paar Minuten – aber das ist die einzige Möglichkeit, sicherzustellen, dass die Erwärmung gleichmäßig über das Substrat erfolgt.