دیگر هوا را گرم نکنید: چرا از فرستندههای مادون قرمز بهتر است
اگر هنوز از سیستمهای گرمایش هوای مجبوری برای فرآیندهای تولید نیمههادی استفاده میکنید، در واقع در حال مبارزه با قوانین فیزیک هستید.
فکر کنید: هوا، رسانای بدی برای گرما است. وقتی که از گردش هوا برای گرم کردن محیط استفاده میکنید، نیمی از زمان خود را صرف این کار میکنید که دمای محیط به حد مورد نظر برسد؛ در حالی که ویفر هنوز هیچ تغییری نداشته است. این روش کند و ناامیدکننده است؛ همچنین منجر به هدر رفتن زمان زیادی میشود که میتوانستید از آن برای تولید محصولات استفاده کنید.
استفاده از فرستندههای مادون قرمز، تمام اوضاع را تغییر میدهد. به جای گرم کردن کل محیط، پرتوهای مادون قرمز انرژی را مستقیماً به سمت سطح مورد نظر ارسال میکنند.
این تفاوت بسیار زیادی دارد؛ دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن هوا باشید؛ میتوانید در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر برسید. این یعنی صرفهجویی زیادی در زمان در هر شیفت کاری.
راز در قسمتهای پایانی فرستندههاست
فرستندههای مادون قرمز، صرفاً یک دستگاه گرمایشی ساده نیستند؛ بلکه سیستمهای پیچیدهای هستند. وقتی که از توان بالایی برای گرم کردن سطوح مورد نظر استفاده میکنیم، نقطه تماس سیمها با لوله کوارتز مشکلات زیادی ایجاد میکند. اینجاست که اغلب مشکلاتی پیش میآید.
به همین دلیل از قسمتهای پایانی سرامیکی استفاده میکنیم. سرامیک در شرایط دمای بالا تغییر شکل نمیدهد و اکسیداسیون نمیکند؛ همچنین یک محافظ محکم ایجاد میکند که از ورود آلایندهها به داخل فرستنده جلوگیری میکند. اگر از پلاستیکهای ارزان یا آلیاژهای با کیفیت پایین استفاده کنید، این قسمتها خراب خواهند شد؛ در نتیجه با مشکلاتی مانند نشت خلأ یا قطعی الکتریکی روبرو خواهید شد.
چه چیزهایی باید مورد توجه قرار گیرد؟
مزیت فرستندههای مادون قرمز این است که گرمایش فقط در نقاط مورد نظر اتفاق میافتد؛ یعنی کل محیط گرم نمیشود. این کار باعث افزایش سرعت فرآیند تولید میشود.
اما یک مشکل وجود دارد: چون فرستندههای مادون قرمز بسیار سریع عمل میکنند، ممکن است دمای مورد نظر را از دست بدهید. اگر کنترلکننده PID شما برای گرمایش مادون قرمز تنظیم نشده باشد، ممکن است دمای مورد نظر را از دست بدهید. همچنین باید مراقب باشید که قسمتهای پایانی سرامیکی، اندازه دستگاه را افزایش ندهند؛ بنابراین حتماً محل نصب آنها را بررسی کنید تا مطمئن شوید همه چیز در جای خود قرار دارد.
ما این فرستندهها را برای کار در شرایط سخت طراحی کردهایم. توجه داشته باشید: وقتی که آنها را برای اولین بار وصل میکنید، مطمئن شوید که منبع تغذیه شما قادر به تحمل تکانههای اولیه باشد.
پس از اینکه این مشکلات برطرف شد، این فرستندهها میتوانند جایگزین سیستمهای گرمایش هوای مجبوری قدیمی شوند؛ و کل فرآیند را سریع و بدون مشکل انجام دهند.