کاهش انتشار کربن و ازون در فرآیندهای گرمایشی نیمههادیها
اگر تجربه کار در اتاقهای پاک را داشته باشید، میدانید که چقدر چالشبرانگیز است. برای این کار، به دقت حرارتی بسیار بالایی نیاز است؛ اما ابزارهایی که استفاده میشوند، اغلب خودشان مشکلاتی ایجاد میکنند.
لامپهای معمولی ماوراءبنفش کوتاهامواج، تمایل دارند طول موجهایی کمتر از ۲۰۰ نانومتر را ساطع کنند. مشکل اینجاست که این طول موجها با اکسیژن ترکیب شده و ازون تولید میکنند. در محیطهای استریل، ازون یک مشکل بزرگ است؛ زیرا باعث فرسودگی ابزارها میشود و سیستمهای تهویه هوا را مجبور میکند تا برای تصفیه هوا، بیش از حد کار کنند.
ما راهی برای جلوگیری از این مشکل پیدا کردیم؛ از لولههای کوارتز بدون ازون استفاده میکنیم.
نحوه کارکرد آن
این روش بسیار ساده است؛ از کوارتزهای دارای پوششهای ویژه استفاده میکنیم تا طول موجهای مربوط به نور ماوراءبنفش را مسدود کنیم. با حذف این طول موجها، از تشکیل ازون جلوگیری میشود.
نکته خوب این است که دیگر نیازی نیست به سیستمهای پرمصرف برای تصفیه ازون تکیه کنیم؛ بنابراین مصرف انرژی کاهش مییابد و ابزارها نیز مدت زمان بیشتری کار میکنند.
پیروزی در رقابت برای «کارخانه سبز»
رسیدن به بیاثری کربن، فقط مربوط به منبع تأمین انرژی نیست؛ بلکه مربوط به نحوه استفاده از آن نیز هست.
فرهای متداول، مانند گرم کردن کل خانه فقط برای نگه داشتن یک فنجان قهوه در حالت گرم، عمل میکنند؛ یعنی کل فضای موجود را گرم میکنند. اما لامپهای ماوراءبنفش کوتاهامواج، انرژی را مستقیماً به ویفر یا سطح مورد نظر منتقل میکنند و بقیه فضا را نادیده میگیرند.
اما نکته مهم این است که لامپهای ماوراءبنفش کوتاهامواج در عرض چند ثانیه گرم میشوند؛ بنابراین نیازی نیست انرژی زیادی برای گرم نگه داشتن فر صرف شود. این روش سریع، کارآمد و مفیدتر از روشهای سنتی است.
نکاتی که باید در نظر داشت
البته این روش جادویی نیست؛ چند نکته وجود دارد که باید در نظر گرفته شوند.
وقتی که طول موجهای ماوراءبنفش را صاف میکنیم، توزیع طول موجها کمی تغییر میکند؛ بسته به مادهای که استفاده میکنید، نرخ جذب انرژی نیز ممکن است کمی تغییر کند. لازم است زمانهای لازم برای گرم شدن ابزارها را دوباره بررسی کنید تا مطمئن شوید که پروفایل حرارتی همچنان در حالت مناسب باقی است.
همچنین، اگر از لامپهایی با توان بالا استفاده میکنید، باید به منابع تأمین انرژی توجه کنید؛ این لامپها ممکن است به نوسانات ولتاژ حساس باشند. اگر کیفیت انرژی خوب نباشد، فیلامنتها خیلی زود خراب میشوند.
راز موفقیت این است که امپدانس لامپ را دقیقاً با کنترلر هماهنگ کنید؛ این کار باعث میشود سیستم شما برای مدت طولانی به خوبی کار کند.