نگهداری ویفرهای MEMS در حالت تمیز، در طول فرآیند خشک کردن
اگر از اتاقهای پاکسازی درجه ۱۰۰ استفاده میکنید، قطعاً از مشکلات ناشی از وجود ذرات گرد و غبار یا بخارات شیمیایی آگاه هستید؛ چرا که این مواد میتوانند کل محصول را بیارزش کنند.
مشکل اینجاست که اکثر عناصر گرمایشی در واقع بسیار کثیف هستند؛ وقتی که این عناصر گرم میشوند، تمایل دارند تکههای ریزی از خودشان جدا شوند یا ترکیبات آلی فرار را در سطح ویفر ریخته کنند. این موضوع میتواند فاجعهبار باشد.
به همین دلیل، ما از لامپهای اشعه مادون قرمز ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ چرا که این لامپها چنین مشکلاتی ایجاد نمیکنند.
چرا از کوارتز خالص استفاده میکنیم؟
ما از سیلیکا مذاب استفاده میکنیم؛ چون این ماده بسیار محکم است. شیشههای معمولی یا کوارتز ارزانقیمت، در دماهای بالا ترک خورده یا خرد میشوند؛ اما این ماده چنین نمیشود.
نکته خوب اینجاست که اشعه مادون قرمز میتواند مستقیماً از میان لایه مایع روی ویفر عبور کند؛ در نتیجه رطوبت به سرعت تبخیر میشود. از آنجایی که هیچ چیزی واقعاً به سطح ویفر تماس ندارد، نیازی به نگرانی درباره خراشها یا آلودگیهای سطحی نیست.
تنظیم دمای مناسب
ما از اشعه مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این اشعه تقریباً بلافاصله به سطح ویفر برخورد میکند.
این روش بسیار سریع است؛ و این موضوع مهم است، چون اگر زمان تبخیر محلول زیاد شود، لکههای آبی روی ویفر ایجاد میشود.
ما زمان زیادی را صرف تنظیم توان و ولتاژ لامپها میکنیم تا گرما به طور یکنواخت در سراسر ویفر پخش شود. توجه داشته باشید: اگر برای تسریع فرآیند، توان لامپ را بالا ببرید، حتماً مطمئن شوید که قطعات مربوط به نگهداری ویفر قادر به تحمل این گرما باشند؛ در غیر این صورت، ویفر دچار تغییر شکل خواهد شد.
طراحی مناسب
ما طراحی سادهای برای لامپها در نظر گرفتهایم؛ بدون استفاده از قطعات بزرگ که میتوانند محل تجمع گرد و غبار باشند.
اتصالات نیز حداقلی است؛ در نتیجه احتمال خرابی قطعات کمتر میشود. همچنین، از درزگیرهای ویژهای استفاده میکنیم تا هیچ ذرهای از انتهای لامپها وارد منطقه گرمایشی نشود.
نکته آخر: این لامپها دمای بالایی دارند؛ پس توصیه میکنیم از سیستم خنککننگ ویژهای برای انتهای لامپها استفاده کنید؛ این کار از سوختن قطعات مربوط به لامپها در طول فرآیند تولید جلوگیری میکند.