Houd je MEMS-wafers schoon tijdens het drogen
Als je werkt in een zuivere ruimte van klasse 100, weet je vast wat voor nachtmerrie dat kan zijn: één klein stofdeeltje of een beetje chemische stof kan al zorgen voor beschadiging van alle wafers.
Het probleem is dat de meeste verwarmingselementen eigenlijk behoorlijk vuil zijn. Wanneer ze opwarmen, kunnen er microscopisch kleine deeltjes vrijkomen of kunnen er vluchtige organische verbindingen vrijkomen die direct op de wafers terechtkomen. Dat is een ramp die zich snel kan voordoen.
Daarom gebruiken we irissenlampen gemaakt van synthetisch kwarts met hoge zuiverheid. Zulke lampen veroorzaken dit soort problemen niet.
Waarom we puur kwarts gebruiken
We gebruiken gefuseerd silicium omdat dit materiaal zeer sterk is. Gewoon glas of goedkoop kwarts zal gemakkelijk breken of afbrokkelen wanneer het heet wordt. Dit materiaal doet dat niet.
Het beste aan dit materiaal is dat de infrarode straling recht door het op de wafers aanwezige vocht heen gaat. Hierdoor verdampt het vocht snel. Omdat er niets de wafers raakt, hoef je je geen zorgen te maken over krassen of vuiligheid op het oppervlak.
Het juiste niveau van warmte bereiken
We gebruiken kortegolfradiusinfrarood licht. Dit licht bereikt het oppervlak van de wafers bijna onmiddellijk. Het is dus erg snel. Dat is belangrijk, want als het oplosmiddel te lang nodig heeft om te verdampen, ontstaan er watervlekken op de wafers.
We besteden veel tijd aan het instellen van de stroomsterkte en spanning, zodat de warmte gelijkmatig over de hele wafel wordt verdeeld. Let op: als je de stroomsterkte verhoogt om het proces te versnellen, moet je ervoor zorgen dat de houder van de wafel de warmte kan verdragen. Anders kan de wafel beschadigen.
Alles goed regelen
We proberen het ontwerp zo simpel mogelijk te houden. Er zijn geen grote behuizingen die stof kunnen opslaan. De verbindingen zijn minimaal, zodat er minder kans is op defecten. We gebruiken ook speciale sluitingen, zodat er geen deeltjes van de elektrische verbindingen in de verwarmingszone terechtkomen.
Een laatste tip: deze lampen worden erg heet. We raden aan om een apart koelsysteem te gebruiken voor de uiteinden van de lampen. Hierdoor blijven de verbindingen niet beschadigen tijdens lange productieprocessen.