300 mm’lik bir üretim hattında, fotorezistin ısıtılması sırasında meydana gelen 15 dakikalık sıcaklık değişiklikleri bile tüm ürün partisini bozacak kadar yeterlidir. İşte bu yüzden litografi bölümü için son derece saf suyu ısıtabilecek lambalar geliştirdik. Burada termal düzenlilik ve çalışma süresi sadece önemli değil; aynı zamanda üretim verimliliğini de belirler.
Lambanın iç yapısı Lamba, kuvars kılıf içinde bulunan kısa dalga boylu kızılötesi ışık kaynağı sayesinde, kullanım noktasında son derece saf suyu ısıtarak ±0,1°C’lik bir stabilite sağlar. Böylece levha düzeyinde sıcaklık düzenliliği sağlanır ve böylece yumuşak/sert ısıtma işlemleri belirlenen standartlarda gerçekleşir. Bu lamba, 1–100 sınıfı temiz odalar için uygundur; hiçbir parça üretmez ve sürekli çalışma durumunda herhangi bir gaz salınımı olmaz. Çıktı değerleri tekrarlanabilir niteliktedir; 5.000 saatten fazla kullanımda bile sapma %5’in altındadır. Ayrıca termal tepki hızı yüksek olup, yüksek hızlı üretim süreçlerine ayak uydurabilir.
Bu durumun pratiğe etkisi Daha az ısıtma işlemi gerekiyor. Kritik boyut kontrolü daha hassas hale geliyor. Fotorezist profilleri her parti için tutarlı kalıyor. Üretim hattı 7/24 kesintisiz çalışabiliyor; plansız duruşlar ortadan kalkıyor ve bakım işlemleri planlanabilir hale geliyor. Lamba talep üzerine ısındığı için enerji tüketimi azalıyor. Düzenli bir termal denge sağlanıyor, atık miktarı azalıyor ve her levha başına maliyet düşüyor.
Doğru şekilde kullanabilmek için ne gerekiyor? Montaj sırasında lambanın üretim hattının termal arayüzüne uyumlu hale getirilmesi gerekiyor. Ayrıca suyun iletkenliği ve akış stabilitesinin de kontrol edilmesi gerekiyor. Kimyevi bileşimdeki küçük değişiklikler bile ayarların doğruluğunu bozabilir. Özel ısıtma odası geometrisi için PID ayarlarını belirlemek amacıyla kısa bir test süreci planlanmalıdır. Bunu başardıktan sonra işlem tekrarlanabilir hale gelir ve tekrarlanabilirlik de üretimin devam etmesini sağlar.