半导体洁净室推车式加热器

别再等待传送带升温了：红外加热与热风加热的对比 在深度加工过程中，晶圆的温度稳定性至关重要。但如果仍然使用热风循环来保持传送带的温度，那无疑是在浪费大量时间。 最近，越来越多的工厂开始转向红外加热方式。原因很简单：热风的加热效率实在太低了。 漫长的等待过程 想想热风是如何工作的吧。首先需要加热空气...