用于光刻机的石英玻璃防护罩
为何在制造设备中必须使用石英防护罩
在运营现代制造设备时,你并非只是简单地对物品进行加热处理,实际上是在进行一项对温度控制要求极高的工作。
如果你仔细观察一下我们的红外系统,就会发现灯具前方有一个石英玻璃防护罩。它看起来很简单,但实际上它起着保护硬件免受损害的关键作用。
防止灰尘侵入
石英的优点在...
用于制造红外灯的石英套管
在晶圆厂车间,软烘烤和硬烘烤过程对温度偏移没有容忍度。晶圆上2°C的热点会导致线宽偏差,进而报废整批产品。我们设计了用于晶圆厂红外灯的石英套管,以消除热预算中的不确定因素。
核心关键点
我们选用高纯度石英作为套管材料,因为它在短波到中波红外波段保持稳定的透射率,其热膨胀特性使几何形状在快速热循环中...