Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich die Probleme damit. Schon ein winziger Staubkorn oder ein kleiner Gasanteil kann dazu führen, dass ganz Chargen von Wafern unbrauchbar werden.
Der eigentliche „Feind“ sind die Heizelemente. Die meisten davon sind einfach nicht dafür geeignet. Sie beginnen unter Hitze, Mikropartikel abzugeben oder zu zerfallen – und plötzlich ist Ihr „reiner“ Reinraum nicht mehr so rein.
Wir haben eine Lösung gefunden: Wir verwenden hochreines Quarz für die Infrarotlampen sowie spezielle Teflon-Leitungen. Einfach – aber effektiv.
Das Geheimnis liegt im Quarz
Wir verwenden kein normales Glas, sondern synthetisches, hochreines Quarz. Warum? Weil es verhindert, dass Metallionen in den Produktionsbereich gelangen. Zudem ist Quarz sehr widerstandsfähig. Die Temperatur kann schnell erhöht bzw. gesenkt werden – ohne dass die Lampen zerbrechen. Außerdem strahlen diese Lampen Kurzwellen-Infrarotstrahlung aus, die direkt auf das Substrat trifft. Man muss nicht warten, bis die Wärme vollständig ins Substrat eingedrungen ist – es geht schnell.
Umgehen mit den „unsichtbaren“ Problemen
Dann gibt es noch die Leitungen. Die meisten Menschen verwenden PVC oder Silikon – doch diese Materialien sind in der Nähe von Heizquellen ein Albtraum. Sie schmelzen und geben flüchtige organische Verbindungen ab. Im Grunde genommen bringen sie Polymere direkt auf die Wafer.
Deshalb verwenden wir PTFE (Teflon). Es bleibt auch bei hohen Temperaturen chemisch stabil. Es gibt keine Gase ab – und somit auch keine Kontaminationen.
Da diese Lampen als Ersatz für Ihre aktuellen Heizelemente konzipiert sind, müssen Sie Ihren gesamten Aufbau nicht neu gestalten, um sie einzusetzen.
Ein paar Dinge, auf die Sie achten sollten
Diese Infrarotlampen sind sehr leistungsstark. Die sofortige Wärmeabgabe ist zwar vorteilhaft – doch sie kann zu viel sein, wenn man nicht vorsichtig ist. Wenn die Entfernung zum Zielobjekt nur um wenige Millimeter abweicht, entstehen Hotspots. Sie sollten daher Ihre PID-Controller überprüfen und sicherstellen, dass die Kühllüfter ausreichend leistungsfähig sind, um zu verhindern, dass die Teflon-Hüllen überhitzen.
Noch ein Tipp: Halten Sie die Leitungen vom Quarzrohr fern. Wenn sie in Berührung kommen, brennen die Leitungen aus.
Sorgen Sie einfach für die richtige Entfernung sowie eine goede Isolierung – dann haben Sie jedes Mal einen stabilen und sauberen Betrieb.