Schutz der IR-Lampen in den Wafer-Reinigungsgeräten
Seien wir ehrlich: Die Verwendung von IR-Heizlampen in Wafer-Reinigungsgeräten ist ziemlich riskant – es ist, als würde man mit Feuer spielen. Wenn man von brennbaren oder sogar explosiven Chemikalien umgeben ist, kann bereits ein kleiner Funke oder ein beschädigtes Isolationsstück dazu führen, dass aus einem schlechten Tag ein totaler Desaster wird.
Deshalb installieren wir diese Lampen nicht einfach so. Wir umhüllen sie stattdessen mit einer luftdichten Abdeckung.
Verhindern von Funken
Standardmäßige IR-Lampen sind einfach nicht für die Bedingungen in chemischen Bädern geeignet. Um das zu lösen, verwenden wir einen mehrschichtigen Verschlusssystem, das die elektrischen Anschlüsse vollständig vor den Einflüssen der Chemikalien schützt. Wir setzen die Lampe in eine Hochreinigkeits-Qualzylinderhülle ein und verschließen diese anschließend mit industriellen Keramiken und Harzen, die unempfindlich gegenüber aggressiven Chemikalien sind. Dadurch werden die korrosiven Dämpfe daran gehindert, die Kabel zu zerstören oder mit dem Strom in Berührung zu kommen.
Die eigentliche Sicherheit liegt in den Endkappen. Wenn diese Verschlüsse versagen, entsteht ein Problem: Die Dämpfe dringen ein, die Lampe funktioniert nicht mehr – oder es kommt sogar zu einem Brand. Wir gehen kein Risiko ein – wir prüfen jeden Verschluss sorgfältig, um sicherzustellen, dass er den aggressiven Lösungsmitteln standhalten kann.
Der Kompromiss zwischen Wärmeabgabe und Sicherheit
All diese Schutzschichten sowie der dicke Quarzstoff bilden eine Art „Wand“, die die Wärmeabgabe verlangsamt. Sie werden wahrscheinlich feststellen, dass die Erwärmungszeit etwas länger dauert als bei einer Lampe, die ohne solche Schutzmaßnahmen verwendet wird. Das ist jedoch ein notwendiger Kompromiss für die Sicherheit. Um das Problem zu lösen, passen wir die Leistung der Lampe an, sodass die Prozesstemperatur konstant bleibt – ohne dass die Hülle schmilzt.
Sorgfältige Einrichtung
Beim Anschließen der Kabel sollten Sie sich auf die Verbindungspunkte konzentrieren. Wir verwenden kontaktiertes Gold oder Nickel, da Oxidation in rauen Reinigungsumgebungen ein großes Problem darstellt. Dadurch bleiben die Verbindungen sauber und es kommt nicht zu Funkenbildung.
Achtung auf die Anschlüsse! Falls Sie irgendeine Verfärbung der Anschlüsse feststellen, ziehen Sie die Lampe sofort heraus. Das ist ein Zeichen dafür, dass der Verschluss versagt – und das ist ein Risiko, das man nicht eingehen darf.
Überprüfen Sie außerdem Ihre Kühlventilatoren. Wenn diese nicht richtig eingestellt sind, kann der Einsatzharz im Laufe der Zeit weich werden – und dann sind wir wieder am Anfang.