클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 환경을 운영하고 있다면, 그 고통스러움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지나 가스 조각 하나만 있어도, 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다.
가장 큰 문제는 바로 가열 요소들입니다. 대부분의 가열 요소들은 이러한 환경에 적합하게 설계되지 않았습니다. 열에 의해 미세한 입자들이 발생하거나 가열 요소 자체가 손상될 수 있습니다. 그러면 “청정한” 실내도 더 이상 청정하지 않게 됩니다.
우리는 이 문제를 해결할 방법을 찾아냈습니다. 고순도 석영 IR 램프와 특수한 테플론 와이어를 함께 사용하는 것입니다. 간단하지만 효과적입니다.
비밀은 석영에 있습니다
우리는 일반적인 유리를 사용하지 않습니다. 대신 합성된 고순도 석영을 램프의 외벽으로 사용합니다. 왜일까요? 금속 이온이 생산 구역으로 들어오는 것을 막기 위해서입니다.
또한 석영은 매우 튼튼합니다. 열을 빠르게 올리고 내릴 때도 깨지지 않습니다. 게다가 짧은 파장의 적외선을 방출하여 기판에 직접 작용합니다. 따라서 물건들이 열에 의해 충분히 가열될 때까지 기다릴 필요가 없습니다. 매우 빠릅니다.
“보이지 않는” 문제들
그 다음은 와이어 문제입니다. 대부분의 사람들은 PVC나 실리콘을 사용하지만, 이들은 열원 근처에서는 문제가 됩니다. 녹아버리거나 휘발성 유기화합물을 방출합니다. 결국 폴리머가 웨이퍼에 남게 됩니다.
그래서 우리는 PTFE(테플론)를 사용합니다. 열이 가해져도 화학적으로 안정적이며, 가스가 방출되지 않습니다. 오염도 없습니다.
또한 이 제품들은 기존의 가열 장치를 그대로 대체할 수 있도록 설계되었으므로, 업그레이드를 위해 전체 시스템을 다시 설계할 필요가 없습니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
이 IR 램프는 매우 강력한 열을 내뿜습니다. 이는 좋은 점이지만, 조심하지 않으면 너무 과열될 수 있습니다.
목표물과의 거리가 몇 밀리미터만 어긋나도 과열되는 현상이 발생할 수 있습니다. 따라서 PID 컨트롤러를 반드시 확인하고, 냉각 팬이 충분히 강력한지도 확인해야 합니다.
마지막으로, 와이어를 석영 튜브에서 멀리 떨어뜨려 두세요. 만약 와이어가 석영 튜브에 닿으면, 와이어가 타버릴 수 있습니다.
적절한 간격을 유지하고 적절한 보호 처리를 하면, 항상 안정적이고 깨끗한 환경을 유지할 수 있습니다.