Hoe je je IR-lampen veilig houdt in apparaten voor het reinigen van wafers
Laten we eerlijk zijn: het plaatsen van IR-verwarmingslampen in apparaten voor het reinigen van wafers is net alsof je met vuur speelt. Als je omringd bent door brandbare – of nog erger: explosieve – chemische stoffen, kan één kleine vonk of een beschadigd deel van de isolatie ervoor zorgen dat een slechte dag verandert in een complete ramp.
Daarom installeren we deze lampen niet zomaar. We hullen ze eerst in een waterdichte bekleding.
Het voorkomen van vonken
Standarde IR-lampen zijn helemaal niet geschikt voor de chaos die heerst in chemische baden. Om dit op te lossen gebruiken we een meervoudige afsluiting die de elektrische contactpunten volledig beschermt tegen de invloeden van de buitenwereld. We plaatsen de lamp in een kwartsbekleding met hoge zuiverheid, en sluiten deze vervolgens af met industriële keramiek en harsen die bestand zijn tegen de agressieve chemicaliën. Hierdoor kunnen de corrosieve dampen geen schade aanrichten aan de bedrading of aan de lamp zelf.
De echte ‘magie’ vindt plaats bij de afsluitingen aan beide uiteinden van de lamp. Als deze afsluitingen het begeven, heb je problemen: dampen kunnen binnendringen, de lamp kan uitvallen of er kan zelfs brand ontstaan. We nemen hier geen risico’s – we testen elke afsluiting om zeker te weten dat ze bestand zijn tegen de agressieve solventen die worden gebruikt bij het reinigen van wafers.
Het compromis tussen warmte en veiligheid
Het probleem is dat al die beschermende lagen en de dikke kwartsbekleding een soort ‘muur’ vormen. Hierdoor gaat de warmte langzamer naar de wafer toe. Je zult merken dat de tijd die nodig is om de gewenste temperatuur te bereiken iets langer is dan wanneer de lamp gewoon bloot aan de omgeving zou staan. Het gaat hier om een compromis tussen veiligheid en efficiëntie. Om dit op te lossen passen we de vermogenswaarde van de lamp aan, zodat de procestemperatuur stabiel blijft, zonder dat de behuizing smelt.
Juiste instellingen tijdens het opzetten
Wat betreft de bedrading: richt je aandacht op alle verbindingspunten. We gebruiken contactpunten die goud- of nikkelplaattd zijn, omdat oxidatie een groot probleem is in ruimtes met hoge luchtvochtigheid. Dit zorgt voor schone verbindingen en voorkomt kortsluiting.
Houd de contactpunten goed in de gaten. Als je merkt dat ze verkleurd zijn, haal de lamp onmiddellijk eruit. Dat is een teken dat de afsluiting het begint te begeven – en dat is een risico dat je niet kunt nemen.
Controleer ook zorgvuldig je koelventilatoren. Als deze niet op de juiste manier zijn geconfigureerd, kan de hars die wordt gebruikt om de lamp te beschermen na verloop van tijd zacht worden. Dan ben je weer terug bij af.