Waferlerin Kirlenmesi Sorununu Önlemek
Açıkçası, yüksek yük altında bir IR lambası patladığında bu gerçekten büyük bir felakettir. Sadece üretimin durması değil, aynı zamanda ortaya çıkan dağınıklık da büyük bir sorundur. Cam parçaları ve tungsten filamentler doğrudan waferlerin üzerine düşer. Böylece tüm ürünler kullanılamaz hale gelir ve tüpün tamamen temizlenmesi gerekiyor. Bu da kimse istemeyeceği kadar zahmetli bir süreçtir.
Sadece Bir Ayna Değil
İşte bu yüzden alüminyum reflektörleri sadece “ısı yönlendiricileri” olarak görmüyoruz. Elbette, IR radyasyonunu waferlere geri yansıtarak verimliliği artırırlar; ancak aynı zamanda ilk savunma hattımızdır da. Yüksek saflıkta alüminyum kullanıyoruz çünkü en son isteyeceğimiz şey, reflektörün ısınırken veya soğurken dökülmesi veya gaz salmasidir. Ayrıca, lamba ile reflektör arasındaki boşluğu da minimum seviyede tutuyoruz. Böylece parçaların gidecek yeri kalmaz.
Güç ve Güvenliğin Dengelenmesi
Lambaların maksimum güçte çalıştırılması üretim açısından iyi olsa da, bu durum termal şok riskini artırır. Tek bir bozuk lambanın tüm ürünleri mahvetmesini engellemek için koruyucu bir katman kullanıyoruz. Bunu bir güvenlik ağı olarak düşünebilirsiniz. Lamba ile wafer arasına ikincil bir kuvars veya safir koruma tüpü yerleştiriyoruz. Eğer lamba bozulursa, koruma tüpü parçaları yakalar. Alüminyum reflektör ise tüm bu parçaları bir arada tutarak lambanın mükemmel şekilde merkezlenmesini sağlar. Bu sayede, lambaların erken bozulmasına neden olan dengesiz ısı dağılımları engellenmiş olur.
Değerlendirme
Buradaki dezavantaj ise, koruma tüpleri ve daha güçlü reflektörlerin kullanılmasıyla ısıtıcı başlığın ağırlığının artmasıdır. Bu ekstra ağırlık nedeniyle, lambanın ısınma süresinin biraz daha uzun olacağını görürsünüz. Bu küçük bir gecikme olsa da, kirlenmiş waferler gibi felaketlerden kaçınmak için ödenmesi gereken bir bedeldir. Unutmayın ki, bu ekstra termal kütleyi hesaba katarak PID kontrol cihazlarınızı ayarlamanız gerekecektir. Ayarlamalar yapıldığında, sıcaklık profilleri istenen seviyede kalacaktır.