نگهداری از لامپهای مادون قرمز در دستگاههای تمیزکاری ویفرها
باید صادق باشیم: قرار دادن لامپهای گرمایشی مادون قرمز در داخل دستگاههای تمیزکاری ویفرها، کاری بسیار خطرناک است. وقتی که شما در معرض بخارات شیمیایی قابل اشتعال یا حتی منفجره هستید، یک جرقه کوچک یا یک ترک کوچک در پوشش الکتریکی میتواند باعث فاجعه شود.
به همین دلیل، ما این لامپها را به سادگی نصب نمیکنیم؛ بلکه آنها را در پوششهای ضدآب قرار میدهیم.
جلوگیری از ایجاد جرقه
لامپهای مادون قرمز استاندارد، برای محیطهای پر از مواد شیمیایی مناسب نیستند. برای حل این مشکل، از روشهای بستهبندی چندلایه استفاده میکنیم تا تماسات الکتریکی کاملاً از محیط خارجی جدا شوند.
لامپ را در یک رزین کوارتزی با خلوص بالا قرار میدهیم، سپس آن را با سرامیکها و رزینهای صنعتی محکم میبندیم؛ این رزینها در برابر مواد شیمیایی خطرناک مقاوم هستند. این روش مانع از نفوذ بخارات خورنده به سیمهای الکتریکی میشود.
جادوی واقعی در بخشهای پایانی لامپ رخ میدهد؛ اگر این بستهبندیها دچار اختلال شوند، مشکلاتی پیش خواهد آمد. بخارات وارد لامپ میشوند، لامپ خاموش میشود یا احتمالاً آتشسوزی رخ میدهد. ما در این زمینه حدس نمیزنیم؛ بلکه هر بستهبندی را تحت آزمایش فشاری قرار میدهیم تا مطمئن شویم که میتوانند در برابر مواد شیمیایی خطرناک مقاومت کنند.
تعادل بین گرما و ایمنی
مشکل اینجاست که استفاده از لایههای حفاظتی و کوارتز ضخیم، مانعی برای انتقال گرما به ویفر ایجاد میکند. احتمالاً متوجه خواهید شد که زمان لازم برای گرم شدن ویفر کمی بیشتر است؛ این یک تضاد بین ایمنی و سرعت انتقال گرماست. برای حل این مشکل، ما توان لامپ را تنظیم میکنیم تا دمای فرآیند ثابت بماند و غلاف لامپ ذوب نشود.
نحوه نصب صحیح
در مورد سیمکشی، باید تمرکز خود را بر روی نقاط اتصال قرار دهیم. ما از تماسات طلا یا نیکلی استفاده میکنیم؛ زیرا اکسیداسیون در محیطهای پر رطوبت مشکلات زیادی ایجاد میکند. این روش باعث میشود اتصالات تمیز بمانند و از ایجاد جرقه جلوگیری شود.
حتماً به تماسات الکتریکی توجه کنید؛ اگر هرگونه تغییر رنگی در آنها مشاهده کردید، بلافاصله لامپ را خارج کنید. این نشانهای از اختلال در بستهبندی لامپ است؛ چیزی که نمیتوانید ریسکش را بپذیرید.
همچنین، فنهای خنککننده را نیز بررسی کنید؛ اگر آنها به درستی تنظیم نشده باشند، رزین مورد استفاده در بستهبندی لامپ میتواند با گذشت زمان نرم شود، و در نتیجه دوباره به همان وضعیت اول برمیگردیم.