반도체 공장에서 화학적 세척 공정을 진행할 때는 그 위험성을 잘 알고 계실 것입니다. 주변에는 인화성 용매와 폭발성 증기들이 가득합니다. 정말 위험한 환경이죠.
일반적인 적외선 램프는 이러한 환경에서는 전혀 쓸모가 없습니다. 작은 스파크나 석영관의 균열만 있어도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다. 저희는 이 문제를 해결하기 위해 개방형 발열 방식 대신 훨씬 안전한 방식을 사용했습니다. 바로 밀봉된 구조를 사용하는 것입니다.
보호 메커니즘 단순히 램프를 커버로 덮어두는 것이 아닙니다. 적외선 소자를 사파이어나 내화성 석영으로 만들어진 밀봉된 케이스 안에 넣습니다. 그런 다음 그 케이스 전체를 견고하고 방폭 처리된 외장으로 감싸줍니다. 마치 요새와 같은 구조입니다. 이렇게 하면 열과 주변 공기 사이에 단단한 벽이 생겨서, 화학물질이 새어 나오거나 증기가 증가해도 발열 소자는 안전하게 보호됩니다.
또한, 전선이 들어가는 부분에는 고온에 견디는 가스켓과 화염을 막는 실링을 사용합니다. 이를 통해 유해한 가스가 전기 회로로 들어가는 것을 막을 수 있습니다.
안전성과 성능의 균형 이러한 보호 장치를 추가하면 열 밀도가 떨어질 것이라고 생각할 수 있지만, 그렇지 않습니다. 여전히 필요한 온도 범위를 유지할 수 있습니다. 하지만 한 가지 단점이 있습니다. 밀봉된 구조 자체가 열을 저장하기 때문에, 일반적인 램프보다 작동하기까지 시간이 조금 더 걸립니다. 따라서 PID 제어기를 조정하여 이러한 지연을 해결해야 합니다.
외장 자체도 튼튼하게 만들어져 있습니다. 316L 스테인리스 스틸이나 특수한 플루오로폴리머 코팅을 사용하여, 강한 세척제에도 손상되지 않도록 설계되었습니다.
주의해야 할 몇 가지 사항 이러한 장치는 그냥 간단히 교체할 수 있는 것이 아닙니다. 일반적인 램프보다 무겁고 공간도 더 많이 차지합니다. 따라서 일반 램프를 이러한 밀봉된 장치로 교체하기 전에, 고정용 브라켓이 충분한지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 무게 때문에 브라켓이 부서질 수 있습니다.
또한, 전력 공급도 주의해야 합니다. 이러한 장치는 처음 작동할 때 큰 전류가 흐를 수 있습니다. 스위치를 켜는 순간 차단기가 작동하지 않도록 주의해야 합니다.