클래스 100 청정실을 항상 깨끗한 상태로 유지하기 위해서는
클래스 100 환경에서 작업할 때, 난방이란 단순히 온도를 적절하게 유지하는 것 이상의 의미를 가집니다. 그것은 미세한 입자들과의 싸움입니다.
대부분의 일반적인 난방 장치들은 이러한 환경에서는 문제가 됩니다. 이러한 장치들은 보이지 않는 미세한 입자들을 방출하는데, 이러한 입자들은 웨이퍼나 광학 부품들을 파괴할 수 있습니다. 우리는 고순도의 융합 석영 인파라레드(IR) 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다.
석영이 왜 중요한가?
우리는 합성된 융합 석영을 램프의 외피로 사용합니다. 그 이유는 석영이 큰 열충격을 받아도 깨지지 않기 때문입니다. 무엇보다도, 석영은 고온이 되어도 유해한 휘발성 유기 화합물(VOCs)을 방출하지 않습니다.
저가형 램프들은 보통 저질의 유리로 만들어집니다. 이런 램프들은 쉽게 부서지거나 가스를 방출하기 때문에 피해야 합니다. 우리가 사용하는 석영은 초기 가동 시에도 아무런 입자도 방출되지 않도록 설계되어 있습니다.
전력과 공간
아무도 거대한 오븐이 전체 공간을 차지하는 것을 원하지 않습니다. 필요한 열량을 얻으면서도 공간을 절약하기 위해, 우리는 와트수와 길이의 비율에 주목합니다.
고왓수의 단파 램프를 사용하면 난방 영역을 좁게 유지할 수 있습니다. 이를 통해 반응 속도가 빨라지고 PID 제어도 훨씬 더 정확해집니다.
하지만 단점도 있습니다. 높은 열 밀도로 인해 램프 표면이 매우 뜨거워집니다. 따라서 냉각 팬과 보호 장치를 잘 관리해야 합니다. 공기 흐름이 약하면 램프나 오븐의 케이스가 손상될 수 있습니다. 냉각 팬을 소홀히 해서는 안 됩니다.
설치 방법
우리는 간단한 방식을 사용합니다. R7s나 SK15와 같은 산업 표준 커넥터를 사용하기 때문에, 램프가 고장 나더라도 새 램프를 그 자리에 끼워 넣기만 하면 됩니다.
여기에는 접착제나 유기 코팅제가 전혀 사용되지 않습니다. 접착제도, 레진도 없습니다. 오직 기계적 연결만 있을 뿐입니다. 이렇게 하면 공기가 깨끗하게 유지됩니다.
마지막 팁: 전원 공급 장치가 튼튼한지 확인하세요. 전압 변동은 치명적인 문제입니다. 입력 전압이 10%만 변동해도 IR 파장과 열 출력이 달라질 수 있습니다. 그렇게 되면 전체 공정이 깨질 수 있습니다. 정해진 전압을 준수한다면, 공정 시간도 예측 가능할 것입니다.